Keithley 自動參數測試系統 Keithley 參數分析系統分析系統配置是功率器件特性分析的完整分析方案，包括高質量儀器、電纜、測試夾具和軟件。提供7種配置，每種配置都具有快速檢查器件基本參數（例如擊穿電壓）的實時跟蹤模式和提取精密器件參數的*參數模式。參數曲線跟蹤儀配置的構建塊法具有易于升級和客戶可重配置的優點以滿足不同測試需求。

Keithley 自動參數測試系統Keithley 參數分析系統吉時利PCT 參數分析系統配置 主要特點及優點

可設定的功率大小:

從200V 到3kV

從1A 到100A

寬度動態范圍:

從uV 到3kV

從fA 到100A

電容-電壓測量方式:

±400V多頻C-V

200V斜坡速率C-V

20V極低頻（VLF）C-V

直流或脈沖I-V至50µs

高電壓和高電流通道具有24bit精密模數轉換器和18bit高速（1µs）數字轉換器

測試管理軟件包括用于實時控制的跟蹤模式和用于參數提取的參數模式

當今的模擬和功率半導體技術（包括 GaN 和 SiC）要求進行參數測試，以便最大限度提高測量性能、支持廣泛的產品組合以及最大限度降低測試成本。40 多年來，吉時利已經在關鍵應用中解決了這些問題以及其他重要挑戰，這些應用包括工藝整合、工藝控制監控、生產芯片分類（例如，晶片驗收或已知的良好芯片測試），以及可靠性。

帶有 KTE 7 軟件的吉時利 S530 系列參數測試系統提供高速、*靈活的配置，能夠隨著新應用的出現和需求變化而不斷發展。S530 可進行高達 200 V 的測試，而 S530-HV 可以在任何引腳上進行高達 1100 V 的測試，與競爭解決方案相比，吞吐量提高了 50%。KTE 7 的新增功能是促成直接對接探測器和原有探頭卡重新使用的可選系統測試頭，支持汽車標準 IATF-16949 要求的系統級 ISO-17025 引腳校準，以及從原有的 S600 和 S400 系統進行遷移的簡單、最順暢的路徑，具有完整的數據關聯性并提高了速度。

540 參數測試系統是一個全自動化的 48 引腳參數測試系統，適用于高達 3kV 的功率半導體器件和結構的晶片級測試。*集成式 S540 已針對包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內的最新復合功率半導體材料進行優化，可以在單次測試觸摸中執行所有高電壓、低電壓和電容測試。

S500 集成式測試系統是高度可配置的、基于儀器的系統，適用于器件、晶片或暗盒級半導體檢定。S500 集成式測試系統基于我們經過驗證的儀器，提供創新的測量功能和系統靈活性，并且根據您的需求可進行擴展。有的測量能力結合強大而靈活的自動化檢定套件 (ACS) 軟件，提供市場上其他同類系統無法提供的廣泛應用和功能。

S530 功能

靈活的探測器接口選項，包括測試頭，支持原有吉時利和 Keysight 裝置

行業標準的 KTE 軟件環境

觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數的測試

通過全新系統參考單元 (SRU) 進行全自動系統級校準符合最新質量標準

KTE 7 中的運行狀況檢查軟件工具最大限度地延長系統正常運行時間和提高數據完整性

內置的瞬態過電壓和/或過電流事件保護可大程度地減少代價高昂的系統停機或對晶片造成損壞

符合 ISO-17025 校準要求并支持 IATF-16949 合規性

提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S540 功能

在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執行所有晶片級參數測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎設施

在最高達 3kV 的條件下執行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳

在高速、多引腳、全自動測試環境中實現低電平測量性能

基于 Linux 的 Keithley 測試環境 (KTE) 系統軟件支持輕松進行測試開發和快速執行

非常適合于過程集成、過程控制監控和生產芯片分類中的全自動或半自動應用

通過大程度減少測試時間、測試設置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現實驗室級測量性能

S500 功能

全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術規格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設備上都能執行廣泛的測量。

適用于內存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。

利用支持 Keithley 系統的可擴展 SMU 儀器，提供低或高通道數系統，包括并行測試。

適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。

開關、探頭卡和布線保證系統*適用于您的 DUT。